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经济部EMICON Taiwan科技专案成果主题馆登场,工研院展出半导体2奈米GAA制程前段X光量测技术,量测时间大幅缩短60 %,以确保2奈米制程前段晶片的良率和性能。(图/经济部提供)

经济部EMICON Taiwan科技专案成果主题馆,今日(14)在「2022 SEMICON Taiwan」登场,共展出33项创新技术。最吸睛的是工研院携手多家国内大厂,完成世界最快的SOT-MRAM阵列晶片,可以0.4奈秒高速写入、7兆次读写之高耐受度,效能领先韩国大厂20%。

其次同样是工研院研发的「充电桩与车载充电器用碳化矽功率模组」,采用碳化矽功率半导体元件取代传统矽基功率半导体元件,可实现高电压低电流的800V快充,比400V系统减少一半的充电时间

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另外工研院开发以X光为基础,可量测奈米尺寸的三维复杂结构,协助业者进行2奈米的制程量测,量测时间缩短60%,为全世界速度最快的2奈米量测机台,将于近期衍生新创公司NanoSeeX,募资上看新台币三亿元。

经济部技术处处长邱求慧表示,台湾半导体产业是驱动全球经济发展的引擎,2021年总产值4.1兆元,位居全球第二,因此经济部从2019至2022年,投入逾200亿元,长期支持产业研发创新技术。

致茂电子总经理曾一士表示,半导体2奈米GAA的X光量测技术对半导体产业很重要,未来致茂拟投资近9000万金额,持续与新创团队共同努力。

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